????微機電系統也稱之為MEMS傳感器,與傳統的傳感器相比,它具有體積小、成本低、能耗低、穩定性高、重量輕、易集成和實現智能化的特點, 經過幾十年的發展,已成為重大科技領域之一。它涉及廣包括電子、化學、生物學、機械、材料、等多種學科與技術,具有廣闊的應用前景。
微機電系統在汽車中的應用
????在眾多汽車傳感器中,同樣會有越來越多的微機電系統應用其中。如壓力傳感器主要應用在測量氣囊壓力、燃油壓力、發動機機油壓力、進氣管道壓力及輪胎壓力。MEMS加速度計 的原理是基于力學定律,主要用于安全氣囊系統、防滑系統、汽車導航系統和防盜系統等。其中,電容式MEMS加速度計具有靈敏度高、受溫度影響小等特點,是MEMS微加速度計 中的主流產品。微陀螺儀是一種角速率傳感器,主要用于導航的GPS信號補償和汽車底盤控制系統;應用最多的屬于振動陀螺儀,通常,它與低加速度計一起構成主動控制系統。
????微機電系統的廣泛應用,強烈需要研究出高精密汽車傳感器焊接工藝。 汽車微機電系統芯片多以單晶硅或多晶硅或微硅質量塊作為材料,通常稱為晶圓。在加以引線焊接,這種引線材質通常為鉑金絲,線徑從0.02mm到0.3不等。由于芯片尺寸本身很小,在此基礎上的焊盤更小通常為0.2至0.6mm區間,要在非常小的焊盤上焊接0.04mm或0.2mm鉑金絲有一定的難度,需要找到合適的芯片焊接方法。?
????針對微機電系統芯片焊接工藝,需要高精密設備來實現。設備參數之后就發現,首先焊接電源的控制精度就不夠,焊接電源是一個精密設備的重要組成部分。電阻焊工藝是通過電流產生電阻熱金屬與金屬的熔合,這個電流的控制精確程度直接影響焊接效果。其次是焊接機構部分,精度太低 ,電流通過時需要施加相應的壓力。壓力過大,線可能已經壓斷但是焊不上,壓力過小,也焊不上。這種芯片焊接方法,不止用于鉑金絲焊接,其他的如金絲焊接,銀絲焊接,鎢絲焊接等等都可以應用。
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